風(fēng)淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的潔凈要求
在半導(dǎo)體行業(yè)中,生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度是至關(guān)重要的。這是因?yàn)榘雽?dǎo)體產(chǎn)品的制造過(guò)程對(duì)塵埃、細(xì)菌等污染物的容忍度極低,任何微小的污染物都可能導(dǎo)致產(chǎn)品性能下降甚至報(bào)廢。風(fēng)淋式傳遞窗作為一種高效潔凈設(shè)備,在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。本文將探討風(fēng)淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的潔凈要求。
一、潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
半導(dǎo)體行業(yè)的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)通常以每立方米空氣中含有的塵埃粒子數(shù)量來(lái)衡量。根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)(SEMI)的規(guī)定,不同等級(jí)的潔凈室塵埃粒子濃度如下:
1級(jí)潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數(shù)量不超過(guò)1000個(gè);
10級(jí)潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數(shù)量不超過(guò)10萬(wàn)個(gè);
100級(jí)潔凈室:每立方米空氣中塵埃粒子數(shù)量不超過(guò)100萬(wàn)個(gè)。
風(fēng)淋式傳遞窗的潔凈要求應(yīng)與潔凈室等級(jí)相匹配,確保在傳遞過(guò)程中不會(huì)引入額外的污染物。
二、風(fēng)淋式傳遞窗的工作原理
風(fēng)淋式傳遞窗通過(guò)高速氣流對(duì)人員或物品進(jìn)行吹淋,達(dá)到去除表面塵埃的目的。其工作原理如下:
人員或物品進(jìn)入傳遞窗時(shí),風(fēng)淋系統(tǒng)啟動(dòng),高速氣流從上往下吹淋;
塵埃粒子在氣流作用下被吹離人員或物品表面,落入傳遞窗底部的塵埃收集器;
經(jīng)過(guò)風(fēng)淋處理后,人員或物品進(jìn)入潔凈室,確保其表面潔凈度符合要求。
三、風(fēng)淋式傳遞窗潔凈要求
風(fēng)速要求:風(fēng)淋式傳遞窗的風(fēng)速應(yīng)達(dá)到一定標(biāo)準(zhǔn),以確保塵埃粒子能夠有效去除。通常,風(fēng)速應(yīng)控制在每分鐘25-30米之間。
風(fēng)淋時(shí)間:風(fēng)淋時(shí)間應(yīng)足夠長(zhǎng),以確保塵埃粒子被充分吹離。根據(jù)實(shí)際需求,風(fēng)淋時(shí)間一般在30秒至2分鐘之間。
密封性能:傳遞窗的密封性能至關(guān)重要,應(yīng)確保在風(fēng)淋過(guò)程中不會(huì)產(chǎn)生泄漏,防止塵埃進(jìn)入潔凈室。
維護(hù)保養(yǎng):定期對(duì)風(fēng)淋式傳遞窗進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng),包括更換過(guò)濾網(wǎng)、清潔塵埃收集器等,以保證其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
與潔凈室配套:風(fēng)淋式傳遞窗應(yīng)與潔凈室的其他潔凈設(shè)備(如空氣過(guò)濾器、高效送風(fēng)口系統(tǒng)等)相匹配,共同保證潔凈室的潔凈度。
總之,風(fēng)淋式傳遞窗在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用對(duì)于保證生產(chǎn)環(huán)境的潔凈度具有重要意義。了解并滿足其在潔凈要求方面的各項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn),有助于提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。
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